離子濺射儀 MSP-1S 是一款小型化、高性價(jià)比的表面鍍膜設(shè)備，核心功能是通過 “離子濺射" 技術(shù)在樣品表面沉積一層超薄金屬薄膜（如金、鉑、鈀金等），其應(yīng)用場(chǎng)景高度聚焦于掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，同時(shí)也可用于部分光學(xué) / 電學(xué)樣品的表面改性。
要明確其用途，需先簡(jiǎn)單了解其工作邏輯：
氣體電離：設(shè)備在真空腔體內(nèi)通入惰性氣體（通常是氬氣），通過高壓電場(chǎng)使氬氣電離，產(chǎn)生帶正電的 “氬離子"。
離子轟擊：帶正電的氬離子在電場(chǎng)加速下，高速轟擊 “靶材"（即待沉積的金屬，如金靶、鉑靶）。
靶材原子濺射：高速氬離子的動(dòng)能傳遞給靶材原子，使部分靶材原子脫離靶材表面，形成 “金屬原子霧"。
薄膜沉積：這些脫離的金屬原子在真空環(huán)境中直線運(yùn)動(dòng)，均勻沉積在放置于靶材對(duì)面的 “樣品表面"，最終形成一層厚度可控（通常為 5-50nm）的金屬薄膜。
MSP-1S 作為小型化設(shè)備，最核心的用途是解決SEM 觀察的 “導(dǎo)電性問題"，同時(shí)兼顧少量特殊樣品的表面處理需求。
SEM 觀察的原理是通過 “電子束轟擊樣品表面，收集反射的二次電子 / 背散射電子" 成像。若樣品不導(dǎo)電，會(huì)導(dǎo)致以下問題：
MSP-1S 的核心作用就是為非導(dǎo)電樣品鍍一層導(dǎo)電金屬膜，解決上述問題，確保 SEM 獲得清晰、穩(wěn)定的圖像。常見適用樣品包括：
高分子材料：塑料、橡膠、樹脂、纖維、薄膜等；
生物樣品：動(dòng)植物組織切片、細(xì)菌、細(xì)胞（需先經(jīng)過干燥處理，如臨界點(diǎn)干燥）、昆蟲、花粉等；
無機(jī)非金屬：陶瓷、玻璃、巖石、土壤、粉末樣品（如催化劑、顏料）等；
復(fù)合材料：如碳纖維增強(qiáng)塑料（CFRP）、玻璃纖維制品等。
除 SEM 樣品制備外，基于其 “超薄金屬鍍膜" 能力，還可用于少量小型樣品的表面功能改性：
光學(xué)領(lǐng)域：為小型光學(xué)元件（如微型透鏡、傳感器窗口）鍍一層金屬膜，調(diào)節(jié)其反光 / 透光特性（如增反、減反）；
電學(xué)領(lǐng)域：為絕緣基底（如硅片、石英片）鍍一層導(dǎo)電膜，制作微型電極或測(cè)試用導(dǎo)電通路；
保護(hù)涂層：為易氧化 / 易腐蝕的小型樣品（如某些金屬粉末、微型零件）鍍一層惰性金屬膜（如鉑、鈀），提高表面穩(wěn)定性。
MSP-1S 作為 “小型化" 設(shè)備，其設(shè)計(jì)特點(diǎn)決定了它的適用用戶群體：
體積小、操作簡(jiǎn)單：無需復(fù)雜的真空系統(tǒng)調(diào)試，適合實(shí)驗(yàn)室桌面使用，新手易上手；
鍍膜效率高、成本低：針對(duì)小尺寸樣品（通常樣品臺(tái)直徑≤10mm），鍍膜時(shí)間短（一般 1-5 分鐘），靶材消耗量少；
真空要求適中：采用小型真空泵，可快速達(dá)到工作真空度，無需長(zhǎng)時(shí)間等待。
因此，它更適合科研實(shí)驗(yàn)室、小型企業(yè)質(zhì)檢部門，用于處理 “小批量、小尺寸" 的非導(dǎo)電樣品，尤其適配中小型 SEM 的日常樣品制備需求（如高校材料 / 生物實(shí)驗(yàn)室、電子元器件質(zhì)檢、微型零件失效分析等）。
離子濺射儀 MSP-1S 的核心定位是 “SEM 樣品導(dǎo)電鍍膜專用設(shè)備"，通過在非導(dǎo)電樣品表面沉積超薄金屬膜，解決 SEM 觀察中的電荷效應(yīng)，保證成像質(zhì)量；同時(shí)可兼顧少量小型樣品的光學(xué)、電學(xué)表面改性，是科研和小型生產(chǎn)中 “樣品表面金屬化" 的實(shí)用工具。
