薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率如何進(jìn)行測(cè)量？-日本hrd-thermal熱顯微鏡TM3

用于測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率

特性

• 熱物理性質(zhì)顯微鏡是測(cè)量熱滲透率的裝置，熱滲透率是熱物理性質(zhì)值之一。
• 它是一種可以通過點(diǎn)，線和表面來測(cè)量樣品的熱性能的設(shè)備。
• 也可以測(cè)量微米級(jí)的熱物理性質(zhì)值的分布，這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測(cè)量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
• 它是*yi款能夠進(jìn)行非接觸式高分辨率熱性能測(cè)量的設(shè)備。
• 利用檢測(cè)到的3μm的光斑直徑，可以在高分辨率的微小區(qū)域中測(cè)量熱物理性質(zhì)（點(diǎn)/線/表面測(cè)量）。
• 由于可以通過改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量，因此可以測(cè)量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
• 您也可以測(cè)量基材上的樣品。
• 激光非接觸式測(cè)量。
• 可以檢測(cè)薄膜下的裂縫，空隙和剝離。

熱物理顯微鏡的測(cè)量原理（概述）

在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。

1. 由于金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的性質(zhì)（熱解法），因此通過捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測(cè)激光器的反射強(qiáng)度的變化，來測(cè)量表面的相對(duì)溫度變化。去做。
2. 熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過測(cè)量加熱光和檢測(cè)光之間的相位延遲來獲得熱滲透率。

主要規(guī)格